• 干法刻蚀机
  • 干法刻蚀机 干法刻蚀机 产品型号:DSE 200 S 生产厂家:北方微电子
    产品简介:

    腐蚀是硅微机械加工的最主要的技术 ,各种硅微机械几乎都要用腐蚀成型。腐蚀法分湿法腐蚀和干法腐蚀两大类 ,湿法腐蚀又分为溶液法及阳极法 ,干法腐蚀分为离子刻蚀、激光加工等。

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  • 详细介绍
  • 腐蚀是硅微机械加工的最主要的技术 ,各种硅微机械几乎都要用腐蚀成型。腐蚀法分湿法腐蚀和干法腐蚀两大类 ,湿法腐蚀又分为溶液法及阳极法 ,干法腐蚀分为离子刻蚀、激光加工等。溶液腐蚀法由于使用简便、成本低、加工效果好、加工范围宽 ,因而是微机械加工中使用最广的技术。溶液腐蚀主要依赖于硅的掩蔽性、各向异性和选择性。掩蔽性指一定的腐蚀液对硅和生长在硅上的某种掩蔽膜的腐蚀速率显著不同 ,据此可用此膜作掩膜在硅表面腐蚀出所需的形状。各向异性是指硅的不同晶面具有不同的腐蚀速率 ,各向异性腐蚀利用硅的不同晶向具有不同的腐蚀速率这一腐蚀特性对硅材料进行加工 ,在硅衬底上加工出各种各样的微结构。各向异
    性腐蚀剂一般分为有机腐蚀剂和无机腐蚀剂两类。选择性指硅在掺浓硼时对一定的腐蚀液的腐蚀速率可按需要在硅中预扩散一浓硼层作为腐蚀终止层 ,使腐蚀作用到此层即自行停止。

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